AGP4000 MEMS 고정밀 디지털 디스플레이 냉음극 복합 진공 게이지 피라니 진공 게이지

                    AGP4000 MEMS 고정밀 디지털 디스플레이 냉음극 복합 진공 게이지 피라니 진공 게이지

용도:

• 반도체 제조: 반도체 코팅과 같은 반도체 제조 공정에서 진공 환경을 정밀하게 모니터링하는 데 사용됩니다. 정확한 진공도 제어는 반도체 제품의 품질과 성능에 매우 중요하며, AGP4000은 신뢰할 수 있는 진공 데이터를 제공하여 공정의 안정성을 보장합니다.
• 항공우주 분야: 항공우주 부품 테스트 및 기타 시나리오에서 부품의 성능을 테스트하기 위해 다양한 진공 환경을 시뮬레이션해야 합니다. AGP4000은 저진공에서 고진공까지 전체 범위의 모니터링을 실현하여 항공우주 연구 개발 및 테스트에 중요한 데이터 지원을 제공합니다.
• 정밀 과학 연구: 고정밀 진공 환경 제어가 필요한 일부 물리 및 화학 실험과 같은 정밀 과학 연구에서 AGP4000은 연구자가 진공도 정보를 정확하게 얻도록 도와 실험 결과의 정확성과 재현성을 보장합니다.
• 진공로 응용 분야: 진공로의 경우, 서로 다른 공정 단계에서 서로 다른 진공도가 필요합니다. AGP4000은 로 내의 진공도를 실시간으로 모니터링하고 제어 시스템과 협력하여 진공도를 조정하여 재료의 열처리 품질과 로의 수명을 보장합니다.

특징:

• 광범위하고 고정밀 측정: 저진공에서 고진공까지 전체 범위의 정밀 모니터링을 달성할 수 있습니다(1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa), 6자릿수의 넓은 범위를 커버하며, 반복 오차는 ≤±5%이고, 뛰어난 장기 안정성을 제공하여 주요 공정에 대한 신뢰할 수 있는 데이터 기반을 제공합니다.
• 듀얼 기술 지능형 협업: 피라니 시스템은 전체 공정에서 작동하며, 진공도가 < 10 Pa일 때 냉음극 시스템이 수동 개입 없이 자동으로 시작되어 기존 장비의 범위 제한이라는 문제점을 완전히 해결합니다.
• 강하고 내구성: 냉음극 설계는 가열 필라멘트가 필요하지 않아 오염 방지 능력이 뛰어나 수명이 크게 연장되고 유지 보수 비용이 절감됩니다.
• 트루 컬러 시각화: 고화질 TFT-LCD 컬러 화면이 장착되어 압력 값을 실시간으로 동적으로 표시하고, 세 가지 단위(Pa/Torr/mbar) 간에 한 번의 키 조작으로 전환할 수 있으며, 온도, 통신 상태 및 고전압 온-오프 표시(빨간색/파란색 2색 경고)도 표시하여 데이터를 한눈에 쉽게 파악할 수 있습니다.
• 듀얼 모드 출력: 0~10V 선형 아날로그 신호가 있어 PLC 및 레코더와 같은 산업 장비에 직접 연결할 수 있으며, 로그 변환 공식을 지원하여 시스템에 쉽게 적용할 수 있습니다. 동시에 표준 Modbus RTU 프로토콜을 가지고 있어 RJ45 인터페이스를 통해 RS485 통신을 실현하고, 다중 장치 네트워킹을 지원하며, 주류 산업 제어 시스템과 호환되어 지능형 진공 모니터링 네트워크 구축을 지원합니다.
• 간편한 설치 및 안정적인 작동: 우수한 기밀성을 가진 KF25 스테인리스 스틸 전해 연마 플랜지를 표준으로 장착하고 모든 방향(수직 설치 권장)으로 설치를 지원합니다. 광범위한 전압 전원 공급 장치(15~30V DC)와 ≤6W의 전력 소비를 통해 가혹한 산업 환경에 적응할 수 있습니다.
• 지능형 보정 및 편리한 작동: 3단계 메뉴 기반 인터페이스 설계를 갖추고 있으며, 중국어 및 영어 전환을 지원하고, 현장에서 통신 매개변수 및 단위를 설정하고, 0.1Pa/대기압 보정을 수행하고, 심지어 한 번의 키 조작으로 공장 설정을 복원하여 작동 및 유지 보수 임계값을 크게 줄입니다.