AGP4000 MEMS 고정밀 디지털 디스플레이 냉음극 복합 진공 게이지 피라니 진공 게이지

AGP4000 MEMS 고정밀 디지털 디스플레이 콜드 카토드 복합 진공 측정기 피라니 진공 측정기

용도:

• 반도체 제조: 반도체 코팅과 같은 반도체 제조 공정에서 진공 환경의 정확한 모니터링을 위해 사용됩니다.정확한 진공 정도 조절은 반도체 제품의 품질과 성능에 매우 중요합니다.AGP4000은 프로세스의 안정성을 보장하기 위해 신뢰할 수있는 진공 데이터를 제공할 수 있습니다.
• 항공우주 분야: 항공우주 부품 테스트 및 기타 시나리오에서 부품의 성능을 테스트하기 위해 다른 진공 환경을 시뮬레이션해야합니다.AGP4000은 낮은 진공에서 높은 진공까지 전체 범위를 모니터링 할 수 있습니다., 항공 우주 연구 개발 및 테스트에 중요한 데이터 지원을 제공합니다.
• 정밀 과학 연구: 고 정밀 진공 환경 통제가 필요한 일부 물리 및 화학 실험과 같은 정밀 과학 연구에서,AGP4000은 연구자들이 진공도 정보를 정확하게 얻을 수 있도록 도울 수 있습니다., 실험 결과의 정확성과 반복성을 보장합니다.
• 진공 오븐 애플리케이션: 진공 오븐의 경우, 다른 프로세스 단계에서 다른 진공 정도가 필요합니다. AGP4000은 오븐의 진공 정도를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다.그리고 진공도 조절하기 위해 제어 시스템과 협력소재의 열처리 품질과 오븐의 사용 수명을 보장하기 위해.

특징:

• 넓은 범위와 고 정밀 측정: 그것은 6 순위의 큰 범위를 커버하는 낮은 진공에서 높은 진공 (1 × 10 - 6Pa ~ 1 × 105Pa) 으로부터 전체 범위의 정확한 모니터링을 달성 할 수 있습니다.반복성 오류 ≤±5%, 그리고 훌륭한 장기 안정성, 주요 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 데이터 기반을 제공합니다.
• 이중 기술 지능형 협업: 피라니 시스템은 전체 과정에 걸쳐 작동합니다. 진공 정도가 < 10 Pa일 때,차가운 카토드 시스템은 수동 개입 없이 자동으로 시작됩니다.이는 전통적인 장비의 범위 제한 문제를 완전히 해결합니다.
• 강하고 내구성 있는: 냉성선 설계는 난방 필라멘트를 필요로 하지 않으며, 이는 강력한 반오염 능력을 가지고 있으며, 서비스 수명을 크게 연장하고 유지 보수 비용을 줄입니다.
• 실제 색상 시각화: 고화질 TFT - LCD 색상 화면이 장착되어 있으며, 실시간으로 압력 값을 동적으로 표시할 수 있습니다.그리고 하나의 키로 세 개의 단위 (Pa/Torr/mbar) 를 전환할 수 있습니다., 또한 온도, 통신 상태 및 고전압 켜고 끄는 표시 (붉은 / 파란색 두 가지 색상 경고) 를 표시하여 데이터가 한눈에 명확합니다.
• 듀얼 모드 출력: PLC 및 레코더와 같은 산업 장비에 직접 연결 할 수있는 0 ~ 10V 선형 아날로그 신호를 가지고 있으며 로가리듬 변환 공식을 지원합니다.시스템에 쉽게 적응할 수 있도록동시에, 그것은 RJ45 인터페이스를 통해 RS485 통신을 실현하는 표준 Modbus RTU 프로토콜을 가지고 있으며, 멀티 장치 네트워킹을 지원합니다.일반 산업 제어 시스템과 호환됩니다., 지능적인 진공 모니터링 네트워크를 구축하는 데 도움이 됩니다.
• 간단한 설치와 신뢰할 수 있는 작동: 그것은 KF25 스테인리스 스틸 전기 닦은 플랜지와 함께 표준으로 장착되어 있습니다.공기 밀착성이 뛰어나고 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 (직선 설치가 좋습니다)그것은 넓은 전압 전원 공급 (15 ~ 30V DC) 및 ≤ 6W의 전력 소비를 가지고 있으며, 가혹한 산업 환경에 적응 할 수 있습니다.
• 지능형 캘리브레이션 및 편리한 운영: 그것은 3 레벨 메뉴 기반 인터페이스 디자인을 가지고, 중국어와 영어 스위칭을 지원, 통신 매개 변수 및 단위를 설정 할 수 있습니다 - 현장,수행 0.1Pa / 대기 압력 캘리브레이션, 심지어 작업 및 유지 보수 임계치를 크게 줄이는 하나의 키로 공장 설정을 복원합니다.