YJJ AGP4000H00 MEMS 고정밀 디지털 냉방 카토드 복합 진공 측정기 피라니 진공 측정기

제품 설명:

YJJ AGP4000H00 MEMS 고정밀 디지털 냉음극 복합 진공 게이지 Pirani 진공 게이지

특징:

I. 제품소개

모델: AGP4000H00, 전범위 복합 진공 게이지, 통합 피라니 열전도도 게이지(대기~중진공 측정) + 냉음극 이온화 게이지(고진공 측정)

자동 듀얼 모드 전환, 두 개의 독립적인 진공 게이지와 쌍을 이룰 필요가 없습니다. 로컬 TFT 컬러 스크린 디스플레이가 장착된 통합형 스테인레스 스틸 진공 측정 프로브. 또한 PLC, 터치 스크린, 산업용 제어 호스트에 대한 아날로그/디지털 신호 연결을 지원합니다.

구별되는 특징: Prophiles AGP4000 터치스크린은 이 진공 게이지 모델과 유사하지만 완전히 다른 제품입니다. 하드웨어 구매와 연결을 혼동해서는 안 됩니다.

II. 핵심 성능 매개변수

1. 진공 측정 범위(이중 게이지 복합)

전체 측정 범위: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa(6자릿수 범위, 공정 전반에 걸쳐 러프 펌핑, 중진공 및 고진공 포함)

Pirani 작업 범위: 1×10⁵ Pa ~ 10 Pa(공정 전반에 걸쳐 항상 켜져 있으며 대기에서 중간 진공까지 모니터링)

냉음극 자동 시작 임계값: <10 Pa, 이 진공 수준 미만의 고진공에 대한 이온화 측정을 자동으로 시작하며 수동 전환이 필요하지 않습니다.

측정 단위: Pa / mbar / Torr, 세 개의 단위를 한 번에 전환 가능, 중국어 및 영어 인터페이스

2. 정확성과 안정성

반복성 오류: ≤±5% 판독

측정 정확도: 전체 크기 판독값 ±30%

응답 속도: Pirani 밀리초 수준 응답; 냉음극은 고전압에서 빠르고 안정적인 시동을 제공합니다.

오염 방지 특성: 냉음극에는 가열된 텅스텐 필라멘트가 없으며 유증기나 코팅 먼지에 의해 연소되지 않으며 열음극 이온화 게이지보다 수명이 훨씬 깁니다.

3. 전원 공급 장치 사양

전원 전압: DC 15~30V 광범위 DC

전체 전력 소비: ≤6W

통신/전원 공급 장치 통합 인터페이스: RJ45 통합 전원 공급 장치 + RS485

디지털 통신: Modbus RTU, 전송 속도 4800/9600/19200/115200 조정 가능, 다중 장치 네트워킹 지원(주소 1~255)

아날로그 출력: 0~10V 대수 전압 출력, 레코더, PLC 아날로그 모듈에 직접 연결 가능

스위칭 수량: 프로그래밍 가능한 알람 릴레이 2개, 펌프, 밸브 및 알람 조명을 연결하기 위해 고진공/저진공 임계값 설정 가능

4. 기계, 환경, 재료

진공 플랜지: 표준 KF25 퀵 릴리스 플랜지, 우수한 기밀성, 모든 각도 설치 지원

캐비티 접점 재질: 304/316 스테인레스 스틸 전해 연마, 오일 프리 진공, 순한 오일 윤활 진공 시스템에 적합

작동 온도 범위: 5℃~55℃

보관 온도 범위: -20℃~70℃

보호: 전체 기계 금속 밀봉, 먼지 및 가벼운 오일 오염에 대한 저항성 프로브

화면 : 마이크로 TFT 컬러 디스플레이, 진공 값, 내부 온도, 통신 상태 실시간 표시, 고진공/저진공 이중 색상 경고등

III. 작동 원리

피라니 게이지(열전도 원리)

내부 MEMS 가열 저항 와이어, 가스 분자는 열을 흡수하고, 압력이 높을수록 열 방출이 빨라지고 저항 온도가 낮아집니다. 회로는 저항 변화를 수집하고 대기를 10Pa 진공 수준으로 변환하여 프로세스 전반에 걸쳐 지속적으로 작동합니다.

냉음극 이온화 게이지(패닝 방전)

진공이 10Pa 미만이면 자동으로 고전압을 로드하고 가스 이온화는 이온 전류를 생성합니다. 진공도가 높을수록 이온 전류가 작아지므로 10Pa~10⁻⁶Pa 고진공 범위를 측정할 수 있습니다.

내장된 MCU는 자동으로 압력 범위를 결정하고, 두 측정 모드 사이를 원활하게 전환하고, 진공 값을 균일하게 출력하며, 백엔드 장비가 범위 로직 전환을 수행할 필요가 없습니다.

IV. 핵심 장점

단일 게이지는 전체 진공 범위를 포괄하여 기존의 "피라니 게이지 + 이온화 게이지" 이중 프로브 솔루션을 대체하여 장비 비용과 설치 공간을 줄입니다. 필라멘트가 없는 냉음극은 대기 영향이나 코팅 오염을 두려워하지 않으며 유지 관리가 거의 필요하지 않으며 연속 24시간 산업 생산에 적합합니다.

로컬 컬러 화면이 함께 제공되므로 상위 컴퓨터 없이 현장에서 진공 값을 읽을 수 있어 디버깅 및 유지 관리가 편리해집니다.

또한 Proflex 터치 스크린, 다양한 PLC 및 산업용 제어 획득 시스템과 호환되는 0-10V 아날로그 + Modbus 디지털 이중 출력이 있습니다.

DC 전원 공급 장치용 장비 캐비닛과 호환되는 넓은 전압 DC15~30V, 산업 현장에서의 강력한 호환성;

KF25 범용 표준 플랜지는 분자 펌프, 기계식 펌프 및 진공 챔버의 표준 파이프라인과 직접 일치할 수 있습니다.

Ⅶ. 주요 응용 시나리오

1. 반도체, 진공 코팅 장비 (핵심 응용 분야)

마그네트론 스퍼터링, 증착기, 광학 코팅, ITO 전도성 필름 장비

웨이퍼 패키징, 플라즈마 세정, 에칭 장비, 코스 펌핑 전 공정 모니터링 → 고진공 공정 곡선

누출 지점을 확인하기 위해 헬륨 누출 감지 장비와 결합된 진공 공동 누출 감지

2. 연구실 장비

세포 혐기성 인큐베이터, 진공 건조 캐비닛, 핫 프레스 소결로

기후 시뮬레이션 챔버, 기밀 테스트 벤치, 재료 진공 노화 테스트 장비

고진공 실험 챔버, 이온 소스 진공 모니터링 연구

3. 리튬전지, 신에너지 제조설비

리튬 배터리 진공 베이킹, 주입 진공 챔버, 셀 기밀 누출 감지 스테이션

전해질 소포용 증발 시스템, 전극 진공 코팅 장비

4. 항공우주, 정밀시험산업

항공우주 부품 고온 및 저온 진공 테스트 챔버, 우주선 우주 환경 시뮬레이션 장비

정밀 기기, 센서 진공 교정 스테이션

5. 의료 지원 진공 장비

의료용 음압 챔버, 멸균 진공 멸균 장비, 생물학적 시료 동결 건조 기계

동반호흡기, 진공압력연동제어 (ExplorIR-M-5 CO2 센서연동과 결합 가능)

6. 일반 산업용 진공 자동화

진공 부압 흡착 장비, 진공 포장 기계, 진공 펌프 그룹 연결 제어, 기계식 펌프의 진공 제한 초과 자동 시작 중지, 분자 펌프, 격리 밸브.

6. 인터페이스 솔루션 지원(기존 재료와 호환 가능)

상단 디스플레이: AGP4000 Proflex 터치 스크린, Modbus RJ45를 통해 진공 값 읽기, 곡선 수행, 경보 및 자동 프로세스 로직;

가스 연결: ExplorIR-M-5 CO2 센서, ZP152 악취 센서와 결합하여 챔버 내 진공 + 가스 농도의 통합 모니터링을 실현합니다.

의료용 완전 기계: DS100A 혈액 산소 프로브 모니터링 호스트와 결합되어 의료용 진공 + 생명 징후 통합 장비에 사용됩니다.

명세서: