AWM42300V 마른 가스 아날로그 출력용 마이크로 브리지 가스 질량 공기 흐름 센서

제품 설명:

AWM42300V 마른 가스 아날로그 출력용 마이크로 브리지 가스 질량 공기 흐름 센서

특징:

AWM40000 시리즈 가스 질량 흐름 센서, 증폭되지 않은 (mV), 흐름/압 범위: ±1000 SCCM (1.0 SLPM);인터페이스 타입: 다중.

작업

마이크로 브리지 가스 질량 흐름 센서의 원리는 열 전달입니다.가스의 질량 흐름 속도는 감지 요소의 표면을 통해 안내됩니다.출력 전압은 패키지의 입구와 출구를 통해 흐르는 공기 또는 다른 가스 질량에 비례합니다.특별히 설계된 하우징은 미세 구조 센서 요소를 통해 공기 흐름을 최적으로 지시하고 제어합니다.패키지는 기계적으로 인쇄 회로 보드에 쉽게 장착 할 수 있도록 설계되었습니다.

마이크로브리지 가스 질량 흐름 센서는 첨단 미세 구조 기술을 기반으로 한 첨단 실리콘 칩을 포함합니다.이 칩은 얇은 필름과 아디아바틱 브리지 구조를 사용하여 히터와 온도 감지 요소를 사용합니다.다리 구조는 칩을 통해 흐르는 공기 또는 다른 기체의 공기 흐름에 빠르고 민감하게 반응할 수 있습니다.중앙 난방 요소의 양쪽에 있는 이중 감지 요소는 또한 흐름 방향과 속도를 나타냅니다.레이저로 수정 된 두꺼운 필름과 필름 저항은 항상 센서에서 센서에 대한 일관성있는 교환성을 보장합니다.

미크로 브리지 가스 질량 흐름 센서는 실리콘 나이트라이드 필름에 싸인 열 저항을 사용합니다.이 저항은 실리콘 칩의 에칭 구멍 위에 두 개의 브릿지를 형성하여 매달려 있습니다.칩은 반복되는 흐름 반응을 제공하기 위해 *** 크기의 공기 흐름 채널에 배치됩니다.흐름을 감지하는 다리 아래에 구멍을 새겨서, 히터와 센싱 저항은 효율적인 열 격리 효과를 얻을 수 있습니다.마이크로 브리지 가스 질량 흐름 센서의 작은 크기와 열 격리 기능은 최대 속도 반응과 공기 흐름에 대한 높은 민감도를 달성합니다.

휘트스톤 트윈 브리지 제어 공기 흐름 측정 - 하나는 폐쇄 루프 난방 제어, 다른 이중 감지 요소를 포함합니다.난방 회로는 질량 흐름에 비례한 출력을 제공함으로써 주변 온도 변화로 인한 출력 변동을 감소시킵니다.이 회로는 온도차가 주변 온도 (160 °C) 보다 높은 일정 온도차에서 온도를 유지합니다.°C), 이는 칩의 열 저항 측정으로 결정됩니다.장치의 출력은 공급 전압에 비례하며 또한 Wheatstone 브릿지 회로의 차원 전압에 대응합니다.

사양: