±1000sccm 마이크로 브릿지 가스 질량 유량 계량기 센서 AWM42300V

±1000sccm 마이크로 브릿지 가스 질량 유량 계량기 센서 AWM42300V

±1000sccm 마이크로-브릿지 가스 질량 유량 센서 AWM42300V

특징 :

마이크로브리지 가스 질량 유량 센서는 실리콘 질화물의 얇은 필름 속에 가려진 열 저항을 이용합니다. 그리고 실리콘 웨이퍼의 에칭 캐비티 위에서 투 브릿지를 형성하세요. 칩은 반복할 수 있는 흐름 반응을 제공하기 위해 최고 상술 공기 흐름 채널에 위치합니다. 공동을 식각함으로써 유동 감지 다리 하에, 히터와 센싱 저항기는 효율적 열차단을 달성합니다. 마이크로-브릿지 가스 질량 유량 센서의 작은 사이즈와 열차단 기능은 기류에 신속한 응답과 고감도를 달성합니다.

휘트스톤 트윈 다리 공기 흐름 속도 측정 통제 - 것은 폐-루프 히터 제어를 제공합니다, 다른 것 듀얼 감지 엘레멘트를 포함합니다. 전열 회로는 질량 유량 속도에 비례한 출력을 제공함으로써 대기 온도 변동 때문의 출력 변형을 줄입니다. 이 회로는 대기 온도 (160 'Ｃ) 위에 히터의 온도를 일정 온도 편차로 유지하며, 그것이 칩에 열 저항에 의해 측정됩니다. 장치의 출력은 공급 전압에 비례하고, 또한 휘트스톤 브리지 회로의 차동전압에 해당됩니다.

상술 :