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제품 상세 정보:
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| 흐름 / 압력 범위: | ±1000 스크텀 (1 SLPM) | 전체 온도 범위 에 제로: | ±0.20 mV dc |
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| 반복성: | ±0.50% 읽기 | 응답 시간: | 표준값 1 부인 |
| 강조하다: | 마이크로 브릿지 가스 매스 플로우 미터,AWM42300V 가스 매스 플로우 미터,마이크로 브릿지 열 질량 흐름 센서 |
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AWM42300V 가스 질량 흐름 미터 센서 ±1000sccm 마이크로 브리지
특징:
미크로 브리지 가스 질량 흐름 센서는 실리콘 나이트라이드의 얇은 필름에 싸인 열 저항을 사용합니다. 이 저항은 잠금되어 실리콘 웨이퍼의 에칭 구멍 위에 두 개의 브릿지를 형성합니다..칩은 최고의 사양의 공기 흐름 채널에 배치되어 반복되는 흐름 반응을 제공합니다.히터와 센서 저항이 효율적인 열 절연을 달성마이크로 브릿지 가스 질량 흐름 센서의 작은 크기 및 열 격리 기능은 빠른 반응과 공기 흐름에 대한 높은 민감성을 달성합니다.
위트스톤 쌍둥이 브릿지 제어 공기 흐름 측정 - 하나는 폐쇄 루프 난방 제어, 다른 것은 이중 감지 요소를 포함합니다.난방 회로는 질량 흐름에 비례한 출력을 제공함으로써 주변 온도 변동으로 인한 출력 변동을 줄입니다.이 회로는 칩의 열 저항으로 측정되는 주변 온도 (160 °C) 이상의 일정한 온도 차이에서 난방의 온도를 유지합니다.장치의 출력은 공급 전압에 비례하고 또한 Wheatstone 브릿지 회로의 차원 전압에 대응.
S사양:
| 인터페이스 타입 | 분산기 |
| 전력 소비 | 60mW |
| 중간 호환성 | 오직 건조 가스 |
| 보상 온도 범위 | -25°C ~ 85°C |
담당자: Xu
전화 번호: 86+13352990255
Korean
