YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS 열가스 질량 흐름계 0.5-50 SLPM 1.5MPa

제품 설명:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS 열가스 질량 흐름계 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

특징:

I. 모델 분해 (각 위치의 자세한 의미)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A

MF5006: 시리즈, DN6 (내름 6mm, 1/4" 인터페이스)

N2: 표준 가스 = 질소 (N2)

M: MEMS 열 질량 흐름 원리

E: 알루미늄 합금 껍질

0.5: 최소 범위 0.5 SLPM (20°C / 1 atm에서 분당 표준 리터)

50: 최대 범위 50 SLPM

15: 최대 작업 압력 1.5 MPa

AB: 출력 = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: LCD 디스플레이 (순간 + 누적 흐름)

A: 표준 구성 (특별 맞춤화 없음)

II. 핵심 매개 변수 (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A)

1측정 성능

측정 매개체: N2, 공기, O2, Ar, CO2 등

구멍 / 인터페이스: DN6, 1/4 "내부 스레드 (G1/4 또는 NPT1/4)

범위 (N2, 20°C / 1 atm): 0.5 ∼ 50 SLPM (표준 리터 / 분)

정확도: ± 1.5% 읽기 + 0.2% FS)

반복성: ≤±0.5%FS

범위 비율: 100:1 (대 범위, 낮은 흐름 감도)

응답 시간: ≤100ms (빠른 흐름 변경)

시작 흐름: 8mm/s까지 낮다 (극히 작은 흐름 측정 가능)

2전기 및 출력

전원 공급: 12~24 VDC ±10%, 전력 소비 < 2W

아날로그 출력: 4~20mA (0~50 SLPM에 해당)

통신: RS485 (Modbus-RTU), 네트워크 가능한 원격 모니터링

디스플레이: LCD 화면, 즉각적인 흐름 (SLPM) + 누적 흐름

3기계 및 환경

껍질 재료: 알루미늄 합금 (E형), 가볍고, 부식 저항성

접촉 재료: 316L 스테인리스 스틸

작업 압력: ≤1.5 MPa (15bar)

작업 온도: -20°C ~ +60°C

습도: 0~95% RH (연한 상태가 없습니다)

보호 등급: IP40 (먼지 방지, 실내 / 일반 산업 환경)

설치: 수평 / 수직 설치 의지에 따라, 직선 파이프 세그먼트가 필요하지 않습니다 (MEMS 열의 장점)

4기본 특성

MEMS 열: 질량 흐름의 직접 측정, 온도 / 압력 보상, 정확성

극저차압: 최소 압력 손실, 저압 / 작은 흐름 시스템에 적합

높은 안정성: 제로 포인트 드리프트 작고 장기 유지보수 없이

III. 주요 응용 프로그램 (작은 구멍, 낮은 흐름 가스 정확한 측정)

1반도체/전자 (코어 시나리오)

고순도 질소 (N2), 산소 (O2), 아르곤 (Ar), 공정 가스 비율 및 흐름 모니터링

소 흐름 가스 정밀 제어 웨이퍼 처리, 확산, 에칭, 퇴적 장비

2의료 / 의약품

병원 산소 / 질소 공급 흐름 모니터링 (호흡기, 마취 기계)

의약품 비생물 가스, 보호 가스 (N2/Ar) 정밀 측정

3연구실/연구

작은 흐름 비율, 혼합, 실험 가스의 반응 가스 모니터링 (N2/O2/Ar/CO2)

촉매, 연소, 환경 샘플링 등을 위한 낮은 흐름 가스 측정

4산업 자동화

용접 보호 가스 (Ar/CO2) 의 작은 흐름 안정 제어

정밀 처리의 흐름 모니터링, 검사 장비 폭발 / 보호 가스

압축 공기 / 장비의 작은 부문 최종 에너지 소비 측정

5환경 / 새로운 에너지

저농도 배기가스, 후유기 소류 샘플링 모니터링

수소 연료전지의 저농도 수소 가스 측정

사양: