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제품 상세 정보:
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| 전체 눈금: | 100SCCM | 전원공급장치: | +15 ~ +28 VDC(단일 공급) |
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| 신호: | 0~5V 아날로그; RS485 디지털 통신 지원 | 정확성: | ±1%FS; 반복성: ±0.2% FS |
| 강조하다: | 반도체 제조용 가스 질량 유량 제어기,보증이 있는 의료용 공기 유량 센서,AS200A008C100CJCC 유량 제어기 |
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AS200A008C100CJCC 반도체 제조 공정용 가스 질량 유량 제어기
주요 적용 분야
반도체 공정, CVD, 가스 분배 시스템, 실험실 가스 제어, 분석 기기 등
사양:
| 누설률 | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| 내압 | 3 MPa |
| AS200 제품 시리즈 | MEMS 가스 질량 유량 제어기 |
| A (씰 타입) | A = 고무 씰; 신호: 0–5V 아날로그 입력/출력 |
| 008 (가스 코드) | 008은 지정된 가스에 해당 |
| C (단위) | C = SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute) |
| 100 (전체 스케일) | 100 SCCM |
| CJCC | 인터페이스, 밸브 타입, 전기, 피팅 조합용 접미사 |
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담당자: Xu
전화 번호: 86+13352990255