Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
힘:11.4 ~ 25.2v
범위:0.5 ~ 10,1.8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150L/분
정확도 전체 범위:x ± 1% (<50% 범위)
흐름 범위:0 ~ 2000 ... 6000
정확성:± (2.0+0.5fs)%
턴 다운 비율:> 100 : 1
에 사용되는:건조 가스
범위:+/- 200cm/분
정확성:0.35%
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
제로 포인트 출력 드리프트:+30 MV
출력 드리프트:+0.12 %/OC
일한 전력 공급:8-18VDC, 100MA
경로 (N):2.3. 4. 5
유동률:10, 20, 30, 40, 50 slpm
범위 비율:100:1
정확성:±(1.5 + 0.2 * FS) %
반복:0.75%
제로 포인트 출력 드리프트:± 30 mV
정확성:±(1.5 + 0.2 * FS) %
반복:0.75 %
제로 포인트 출력 드리프트:± 30 mV
측정 정확도:1.5
흐름 범위:0-800L
공정 압력:1Mpa
모델 번호:MF5619
원리:질량 유량계
공칭 직경:19 밀리미터
Korean
