최소 유량:< 0.5SLPM
정확성:±(1.5% 판독값 + 0.2% FS)
반복성:≤ 0.25%FS
유형:질량 공기 흐름 센서
다음과 함께 사용:공기
범위:50 SLPM
범위:5-40L/분
정확성:± 3% fs
반복성:< 2% FS
4040:측정 범위 5~40L/min
A31:NPN 개방 회로 펄스 출력
실:G3/8 외부 스레드
유형:질량 공기 흐름 센서
다음과 함께 사용:공기
범위:50 SLPM
전원공급장치:DC 5V ± 0.5V
작동 전류:≒ 15mA
산출:NPN 개방 회로 펄스
측정 원리:MEMS 열
범위:0 - 20L/분
측정 정확도:±(2% 판독값 + 0.5% FS)
유형:질량 공기 흐름 센서
다음과 함께 사용:공기
범위:20SLPM
측정 원리:열선 풍속형
범위:±0~18L/s(±1080L/min)
정확성:≤ ±2%FS
범위:0-50SLPM
정확성:± 0.5% fs
반복성:± 0.1% fs
범위:0~50SLPM
정확성:± 0.5% fs
해결:최소 0.002SLPM
범위:0-20SLPM
정확성:± 0.5% fs
반복성:± 0.1% fs
Korean
