4040:측정 범위 5~40L/min
A31:NPN 개방 회로 펄스 출력
실:G3/8 외부 스레드
유형:질량 공기 흐름 센서
다음과 함께 사용:공기
범위:50 SLPM
전원공급장치:DC 5V ± 0.5V
작동 전류:≒ 15mA
산출:NPN 개방 회로 펄스
측정 원리:MEMS 열
범위:0 - 20L/분
측정 정확도:±(2% 판독값 + 0.5% FS)
유형:질량 공기 흐름 센서
다음과 함께 사용:공기
범위:20SLPM
측정 원리:열선 풍속형
범위:±0~18L/s(±1080L/min)
정확성:≤ ±2%FS
범위:0-50SLPM
정확성:± 0.5% fs
반복성:± 0.1% fs
범위:0~50SLPM
정확성:± 0.5% fs
해결:최소 0.002SLPM
범위:0-20SLPM
정확성:± 0.5% fs
반복성:± 0.1% fs
측정된 매체:N2, 공기, O2, Ar, CO2 등
범위:0.5~50SLPM
정확성:±(1.5% 판독값 + 0.2% FS)
지름:DN25
범위:2~100m³/h
정확성:±(2.0% 판독값 + 0.5% FS)
온도 측정 범위:-70℃ ~ +150℃
온도 측정 정확도:± 0.1 ℃
해결:16비트 ADC ≒ 0.004℃
Korean
