측정 범위:0~50SLPM
반복성:≤ 0.25%
응답 시간:10ms(기본값)
범위:20.5% ~ 95.6% 거래량
집중 분해:0.1% vol
농도 정확도:±1.2%FS
범위:20.5% ~ 95.6% 거래량
집중 분해:0.1% vol
농도 정확도:±1.5% 표준
O2 농도 범위::20.5% ~ 95.6% 거래량
집중 분해:0.1% vol
농도 정확도:±1.5%FS(5~45℃)
전체 눈금:100SCCM
전원공급장치:+15 ~ +28 VDC(단일 공급)
신호:0~5V 아날로그; RS485 디지털 통신 지원
측정 원리:MEMS 열
정확성:±(1.5 + 0.2%FS)
전원공급장치:12~24VDC
권장 작업 유량:50 - 1000mL/분
외부 치수:Φ25.6×16mm
무게:4.8 g
원칙:MEMS 열 질량 흐름 감지
측정된 매체:공기, N2, O2, Ar, CO2 등
유량 범위:0~50SLPM
범위:0~100SCCM
정확성:±1.0%SP(≥35%FS)
반복성:±0.2%FS
MF5012:DN12mm
N4F:N = NPT 스레드
최대 작동 압력:1.5 MPa
유량 범위:2~16L/분
정확성:±3%FS; 반복성: <2% FS
전원공급장치:18~28VDC
전체 눈금:500ml/분
정확성:± 3% fs
반복성:0.5% fs
Korean
