신호 조정:증폭
흐름 / 압력 범위:200SCCM
출력 전압 @ 트림 포인트:5.0 VDC @ 200 SCCM
흐름 범위 (전체 스케일):+1000 SCCM
출력 전압 @ 트림 포인트:5 VDC @ 1000 SCCM
널 전압:10.00 ±0.10 VDC
권장되는 흥분 (시험 회로 사용):10 ± 0.01 Vdc 15 Vdc 최대 (2)
전력 소비:30mW
출력 전압 트림 포인트:50mV @ 650 SCCM
흐름 범위:+200 SLPM
여자 전압:10 VDC ± 0.01 VDC
전원 공급:8.0 VDC Min./10.0 VDC Typ./15.0 VDC Max.
흐름 범위 (전체 스케일):± 200 SCCM
출력 전압 @ 트림 포인트:30 mv @ 100 sccm
널 전압 이동, 타이핑. +25 ° ~ 25 ° C, +25 ° ~ 85 ° C:± 0.20 MV
종류:차이
압력 범위:±5 mbar ±500 Pa ±2.0 inH2O
보정 가스:공기
종류:질량 유량
흐름 범위:± 200 SCCM
흥분 전압3:8.0 VDC Min./10 VDC ± 0.01 VDC Typ./15 VDC Max.
흐름 범위 (전용 규모) 1:0 SLPM ~ 6 SLPM
보정 가스:질소
권장 여기 전압:10.000 ± 0.010 VDC
흐름 범위 (전용 규모) 1:+1000 SCCM
보정 가스:질소
권장 여기 전압:10.000 ± 0.010 VDC
흐름 범위 (전용 규모) 1:±1000 SCCM
권장 여기 전압:10 ± 0.01 VDC
전원 공급 장치 : 최소 최대:8.0 VDC 15.0 VDC
흐름 범위 (전용 규모) 1:±30 SCCM
권장 여기 전압:10 ± 0.01 VDC
전력 소비:30 MW 유형.
흐름 / 압력 범위:0 SLPM ~ 20.0 SLPM
출력 전압 @ 트림 포인트:5.0 vdc @ 20 slpm
공항 방식:1/4 인치 -18 NPT
