범위:0-50 L/분
정확성:± (1.5 + 0.2 × FS) % 2
출력 모드:RS232 / 아날로그 전압
정도:0.2 + 3%
모델:뉴포트 E360
제품특징:낮은 압력 차
유량 범위:0 ~ 180 l/min (단기 260 l/min)
죽은 공간:<11 ml (기능적)
저항:<0.027 CMH2O/(l/min) 전체 유량 범위 (-180 l/min ~ 180 l/min)
포트 크기:5.08 mm
쉘 소재:규소
최대 작동 온도:+ 85 ° C
흐름:0 ~ 30 l/min
죽은 공간:1.3 ml (기능적)
저항:<0.17 cmh2o/(l/min) 이상
유량 범위:0 ~ 180 l/min (단기 260 l/min)
죽은 공간:<11 ml (기능적)
저항:<0.027 cmh2o/(l/min)
모델 번호:FS4003-5-R-BV-A
용법:기준 치수
상태:원래 100%
유형:질량 공기 흐름 센서
사용 대상:건조 가스
범위:0SLPM ~ 10SLPM
측정 범위:30 ~ 300L/분
반복성:≤ ± 0.5% fs
응답 시간 (T90):≤ 3 s
측정 범위:0-200 L/분
반복성:0.5%fs
작동 온도:- 10 ~ + 60℃
정확성:±2.5% 판독값 + 0.5% 풀 스케일(FS)
반복성:± 0.2% fs
응답 시간 (T90):<1 s
측정 범위:0~200L/분
무게:약 303g
기계적 인터페이스 사양:NPT 1/2
Korean
