유량 범위:0.5 ~ 50SLPM
측정 정확도:±(1.5 + 0.5%FS)
반복 측정 오차:≤ ±0.75%FS
유량 범위:3-300SLPM
측정 정확도:±(1.5 + 0.2%FS)
반복성:≤ ± 0.5% fs
유량 범위:0.5 - 50SLPM
측정 정확도:±(1.5 + 0.2%FS)
반복성:≤ ± 0.5% fs
표준 유량 범위:9 - 150L/분
반복 측정 오차:≤±1% FS
최대 압력:1.0 MPa
전체 크기:본체 40×40mm
파이프 인터페이스:G3/8 내부 스레드
전원 전압:DC 18~28VDC
유량 범위:2 ~ 16L/분
측정 정확도:< ±3.0%FS
반복 측정 오차:2.0% 이하
탐지 원리:천저
측정 범위:0~20% 권
측정 정확도:±70ppm ±5% 판독값
풍속 범위:0 - 15m/초
측정 반복성:± 3% fs
응답 시간:응답 시간
전체 눈금:0 - 10sccm
측정 정확도:± 2% fs
반복 측정 오차:1.0%FS 이하
전체 눈금:0 - 10sccm
측정 정확도:± 2% fs
반복 측정 오차:1.0%FS 이하
전원공급장치:DC24V
전체적인 전력 소비:3W 이하
디지털 통신:DB9 암 커넥터 RS485
풀스케일 범위:0 ~ 500mL/분
측정 정확도:±3%FS
반복성:0.5 %FS
Korean
