흐름 범위:0-2000SCCM
턴 - 다운 비율:100:1
정확성:± (2.0 + 0.5fs)%
정확성:± 0.30% 읽기
반복성 및 지연:±0.35%
응답 시간:1ms
출력 신호:디지털 출력
전원 공급 장치 전압:3.3V 또는 5V DC
정확성:풀 스케일의 ± 2% (FS)
흐름 범위:0-5000 L/분
작업 압력:최대 16 바
인터페이스 유형:M12 소켓 또는 가스 경로 보드 모듈
흐름 범위:0 ~ 180 l/min (단기 260 l/min)
죽은 공간:<11 ml (기능적)
저항:<0.027 CMH2O/(l/min) 전체 유량 범위 (-180 l/min ~ 180 l/min)
흐름 범위:0 ~ 180 l/min (단기 260 l/min)
죽은 공간:<11 ml (기능적)
저항:<0.027 cmh2o/(l/min)
흐름:0 ~ 30 l/min
죽은 공간:1.3 ml (기능적)
저항:<0.17 cmh2o/(l/min) 이상
무게:대략 0.2 파운드
외부 치수:약 3.5 × 4.5 × 6 인치
포장 사양:1개씩
작동 전압:5.0V
작업 전류:25MA
흐름 범위:20-300SLM
흐름 범위:+200 SLPM
여기 전압:10 VDC ± 0.01 VDC
전원 공급 장치:8.0 VDC Min./10.0 VDC Typ./15.0 VDC Max.
전원 공급 장치:18-28V DC
측정 범위:0.5-4, 50-250L/분
정확성:<± 3.0% fs (유량) ± 5% fsmax. (@25 ℃)
흐름 범위:0 ~ 1000SCCM
정도:± (2.0+0.5fs)%
응답 시간:8msec
